光电仪器电子学实验与系统设计

作者简介

郑猛，男，2010年博士毕业于北京交通大学，同年进入北京理工大学光电学院做博士后研究，出站后留校工作。近五年主持横向课题《EUV光刻机投影物镜及支撑结构热仿真分析》一项；参与国家科技重大专项《14nm节点浸没光刻机成像与检测关键技术》、自然基金仪器专项《新型多功能斯托克斯-穆勒成像偏振仪》、自然基金《利用子孔径波前调制的斜率和曲率混合型波前传感技术》三项。总经费200余万，发表学术论文5篇。

内容简介