薄膜晶体管原理及应用（电子科学与技术第2版高等学校电子信息类专业系列教材）

作者简介

董承远 上海交通大学电子信息与电气工程学院电子工程系副教授，主要研究方向为新型薄膜晶体管器件，及其在显示、传感和存储领域的应用等。2003年7月毕业于上海交通大学材料科学与工程学院，获工学博士学位。2003—2008年先后在上海广电NEC、昆山龙腾光电和上海天马等国内几家主要平板显示企业从事与TFT背板技术相关的工艺开发、产品设计和新技术研发工作等；2008年年底加入上海交通大学至今；兼任SID北京分会显示技术培训委员会主席、显示制造技术委员会副主席，Micromachines期刊客座编辑等。主持或参与国家、地方政府和企业科研项目10余项，发表论文70余篇，申请发明专利10余项，编著教材1部。

内容简介

本书是国内较早针对薄膜晶体管技术的教材。本书的读者定位是大专院校的本科生和研究生以及无平板显示产业界相关基础的工程师等。 本书作者结合实际教学经验，在内容讲解顺序上另辟蹊径，按照从应用原理到器件物理再到工艺原理的顺序阐述。具体而言，首先从薄膜晶体管在平板显示的有源矩阵驱动中的应用原理讲起，并由此引出实际应用对TFT器件特性的基本要求；接着详细阐述薄膜晶体管相关的材料物理和器件物理，并由此确定TFT工艺的技术目标；最后，重点讲解薄膜晶体管阵列的单项工艺原理和工艺整合原理。 本书以非晶硅/多晶硅TFT技术的相关原理作为主要阐述目标，作者在产业界的实际工作经验及TFT实际生产中的相关实务知识也多有涉及。此外，在本书的结尾处作者还根据自身的研究经验对当前正在研发的非晶氧化物薄膜晶体管技术以及TFT在非显示领域的实际应用前景进行了总结和展望。