集成电路制造技术——原理与工艺(第3版)

作者简介

田丽，女，哈尔滨工业大学教授，长期从事集成电路制造领域的高校课程教学和科研工作，主持和参与数十项集成电路领域国家级和省部级科研和教研项目，出版教材两部。

内容简介