芯片制造--半导体工艺制程实用教程(第6版)/国外电子与通信教材系列

作者简介

韩郑生，男，中科院微电子研究所研究员/教授，博士生导师，研究方向为微电子学与固体电子学，从事集成电路工艺技术、电路设计方面的工作，曾任高级工程师，光刻工艺负责人，研究室副主任兼任测试工艺负责人，硅工程中心产品部主任，项目/课题负责人。国家特殊津贴获得者。国家自然基金面上项目评审专家。

内容简介

本书是一本介绍半导体集成电路和器件制造技术，在半导体领域享有很高的声誉； 包括半导体工艺的每个阶段： 从原材料的制备到封装、 测试和成品运输， 以及传统的和现代的工艺； 提供了详细的插图和实例， 并辅以小结、习题、术语表； 避开了复杂的数学问题介绍工艺技术。