压电微机电谐振器/微纳机电系统先进技术研究与应用丛书

作者简介

哈梅特·布格拉（Harmeet Bhugra），就职于美国IDT公司，领导了世界首款压电MEMS时间传感器件的研发工作。他拥有二十余项美国专利，发表了多篇学术论文，并进行了多次关于MEMS的演讲。 吉安卢卡·皮亚扎（Gianluca Piazza）教授，就职于美国卡内基梅隆大学电气与计算机工程系，负责压电MEMS的研究工作。

内容简介

本书作者领导了世界首款压电MEMS时间传感器件的研发工作，是该领域知名专家。他领导主编的本书，系统总结介绍了近几年压电MEMS谐振器的各种制作材料、工艺、参数、特性、测试和评估方法等，并接针对相关器件商业化难题进行了讨论，给出了两个成功案例。 压电MEMS谐振器具有更小、更经济、更高性能的品质，在商用化方面极具潜力。