微机电系统(MEMS元器件电路及系统集成技术和应用)/微纳机电系统先进技术研究与应用丛

作者简介

克日什托夫?印纽斯基（Krzysztof Iniewski）博士，曾就职于加拿大多伦多大学、阿尔伯塔大学、西蒙弗雷泽大学，以及美国博安思通信科技有限公司。他是CMOS新兴技术研究协会主席。他拥有在美国、加拿大、法国、德国和日本等国注册的18种国际专利，在国际期刊和会议上发表了100多篇研究论文，是一个经常受邀的演讲者，被国际上多个组织聘为顾问。 维卡斯?乔杜里（Vikas Choudhary）先生，毕业于美国加州大学，获得信号处理领域的硕士学位。在半导体工业，他有20多年的工作经验，拥有5项专利。他主要从事过芯片间千兆信号高速交联技术的线路和系统设计、接收器和发射器中先进时钟和数据恢复系统设计，担任过射频集成电路（RFIC）子系统（如802.16e和802.11n）总体设计师和首席设计师。

内容简介

本书汇集了微机电技术领域内的多位专家，力图解读过去十多年MEMS行业的爆炸式增长，以及在各种科学技术领域的广泛应用。 本书由两部分十九章组成，既阐述了MEMS的理论基础和技术基础，同时也介绍了MEMS器件及系统的发展，并详细分析了相关系统的集成和在各学科领域的应用实例。 "