单晶硅超精密加工技术仿真/制造业高端技术系列

出版时间 2020-05-01T00:00 工业技术 96106

作者： 史立秋|责编:周国萍//刘本明
出版社： 机械工业
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ISBN： 9787111650911

作者简介

单晶硅超精密加工技术仿真技术，有效解决工艺参数弊端，显著降低实验成本，明显提高加工效率