产业专利分析报告（第84册）——高端光刻机

作者简介

国家知识产权局学术委员会为国家知识产权局内设的专利审查业务学术研究机构，本年度8种分析报告的承办方为优选的各地专利代理事务所、律师事务所以及相关行业协会。每种报告的课题组约由20人组成，分别进行数据收集、整理、分析、制图、审核、统稿。

内容简介

本书是高端光刻机领域的专利分析报告，从该领域的发展概况、专利壁垒指数模型研究、竞争情报、主要技术分支专利等方面入手，充分结合相关数据展开分析，得出扎实的研究结论和相关建议。