等离子体放电与材料工艺原理(微电子学第2版)/经典译丛

作者简介

Allan J.Lichtenberg教授于1952年从哈佛大学获得学士学位，1957年从麻省理工学院获得硕士学位，1961年从牛津大学获得博士学位。1957年起执教于加利福尼亚大学伯克利分校电机系。Lichtenberg教授是****的高温等离子体、等离子体放电和非线性动力学领域的先驱，在相关领域发表了约150篇文章并撰写多本著作。其中包括Phase—Space Dynamics ofParticles，该书已有俄文译本。

内容简介