微纳制造科学与技术 : 从基本原理到工程应用

作者简介

陈 蓉，华中科技大学机械科学与工程学院副院长、教授、博士生导师，华中科技大学柔性电子研究中心副主任。国家级创新领军人才、国家海外高层次青年人才、中国工程院-中国工程前沿杰出青年学者。主要研究方向为原子层沉积原理方法与工艺装备。主持国家重点研发计划颠覆性技术创新项目、国家基金重点项目、973计划青年科学家专题项目等多个微电子与新能源相关项目，在Nature Communication、Advanced Materials、Angewandte Chemie International Edition、Small、Engineering、Science Bulletin等国内外期刊上发表SCI论文170余篇，主编/撰写中英文出版物4部，获专利授权100余项（含10余项国际专利）。荣获科学探索奖、中国青年科技奖、中国科协求是杰出青年成果转化奖、中国侨界(创新人才)贡献奖，并获湖北省技术发明奖一等奖、湖北省专利奖、全国颠覆性技术创新大赛优胜奖，入选中国科学技术学会首批“科创中国”先导技术榜等。在国际上，获得IEEE SMC杰出学术贡献奖、日内瓦发明展特别嘉许金奖等。

内容简介

《微纳制造科学与技术——从基本原理到工程应用》由华中科技大学陈蓉、单斌团队撰写，是一本全面介绍微纳制造的图书，涵盖了微纳制造的基本原理及微纳制造在多领域的工程应用，内容丰富、结构清晰，深入浅出地阐述了微纳制造领域的各个方面。 本书具有以下特点： 1.理论知识充足。本书首先对微纳制造做了基本概述，其次从微纳尺度的物理化学原理、微纳材料和结构、多样的微纳尺度加工方法、各种微纳尺度的表征技术等多个方面进行理论讲解。 ？？2.应用场景广泛。本书在介绍微纳制造的理论知识后，还详细概述了微纳制造的相关应用，涵盖了微电子、物联网、航空航天、光电显示、交通运输、医疗健康等诸多领域。 ？？3.配套资源丰富。本书配套了教学大纲、教学课件、教学视频、习题解析等丰富的数字资源，便于读者更好地掌握相关知识。 本书可作为高年级本科生、研究生的教材或教师参考书，也可作为微纳制造研究的科技工作者的参考书。