微细加工技术

作者简介

刘志东 ---------------------------- 刘志东，南京航空航天大学机电学院，教授，博士生导师，中国特种加工学会常务理事，全国电火花线切割专业委员会副主任委员，江苏省特种加工学会理事长。长期从事电火花加工、激光表面处理、电化学沉积等特种加工技术的教学与研究工作，近5年发表学术论文100余篇，SCI、EI收录二十余篇，获发明专利10项，编写教材多本。

内容简介

本书介绍了常用微细加工的方法、基本原理和应用，拓展了微细加工技术在集成电路制造和硅太阳能电池制造领域的应用；配有120余段有关微细加工技术的视频，读者只需利用移动设备扫描书中相应位置二维码即可在线观看；还配套附有主要视频内容的教学参考课件，方便教师授课；设置课程思政元素，将正确的价值追求准确地传递给学生。